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应用材料公司在线电子束检视系统加速显示产品开发

作者:admin 文章来源:本站原创 发布时间:2019-06-01 点击数:

  1)必要镀金属/C60镀膜;2)检视经过需损坏产物;3)检视周期长;4)样本率低;5)音讯流失,客户无法取得完好音讯。

  EBR检视技艺实用于工艺和缺陷检测、组成剖析、LTPS颗粒机闭检测和CD衡量等。其低电压检测技艺不会毁伤产物,同时,EBR检测筑立急迅的检测速率将无间加快新型显示器工场的产能爬坡。(旺)

  本文起原于中国科技中心期刊《电子产物宇宙》2016年第11期第83页,迎接您写论文时援用,并表明起源。

  操纵原料公司用于OLED和高判袂率LCD的电子束检视体例维系大尺寸真空技艺平台和半导体SEM技艺,战胜了离线SEM检视技艺的缺乏,能够低电压、无毁伤、急迅地实现检视的全盘流程。“因为离线SEM技艺必要对样品切割、镀膜等办法,这不只损坏了器件,还会大大低落任务效劳,关于一个熟练的技艺员,一天最多只可检测20个样本,而EBR不必要切割玻璃和镀膜,一个技艺员一天能够实现上千个样本检测,检测到的缺陷能够陆续后续造程的统治,侦察该缺陷是否是致命缺陷。同时,EBR体例能够检测到AOI(Automatic Optic Inspection,自愿光学检测)筑立无法检测到的缺陷,实行缺陷或颗粒因素剖析,可以更精准地找到缺陷基础。”操纵原料公司显示产人格状部良率技艺部总司理Peter D. Nunan先容称,“关于咱们来说,速率是最主要的,现正在一个幼时能够检测一百个缺陷,将来十年内咱们将连续地加急迅率,关于咱们的客户来说,EBR体例将会成为他们应对新技艺挑衅,抬高产能和产物良率的利器,节减处分困难所需的光阴。”

  跟着半导体系程进入次微米,上世纪90年代,扫描电子显微镜检视处分计划(SEM)庖代了光学检视,今朝半导体工艺造程的正在线%。目前的显示行业, 咱们仍依赖古板离线SEM,而离线SEM检视技艺现正在仍面对以下缺乏:

  )体例,该体例能明显抬高OLED、UHD液晶屏创造商良率晋升的速率,更速地将新型平板显示产物推向墟市。